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管道、体系或泵部件走漏、前泵极限压力低、光滑油质量差、油封不良的或许性高。保护办法是查看泵体系，修补前泵，替换光滑油或油封。
原因或许是配管通量小，前泵泵速度低。此刻，要添加配管容量，修补或替换前泵。
这或许是因为进口压力过高，转子端面与端盖一侧触摸，前泵将油送回真空泵的泵腔。该设备需求调整压力、转子和防回火设置。
当真空泵在高压下作业时，真空泵旋转敏捷，气体无法在壳体外表散热。真空泵停止作业，因为温度忽然升高，转子和壳体之间的空隙削减。在某些情况下，真空泵或许不会发生真空。
因为泵油速度低、紧缩比大、进口压力高、冷却作用差、齿轮、轴承、油封光滑剂功能差。此刻，有必要替换前泵，调整进口压力，调整油量，添加冷却水，保证光滑剂的质量和丈量，防止过热和对泵组件的损坏。
泵方位过错，需求调整。运行时，更多的大颗粒进入泵室，形成磨损和噪音。假如发动压力设置过高，真空泵部件也或许过热损坏。
在快速冷却条件下，气体不能够到达蒸腾液体所需的温度，蒸汽不能敏捷逃逸，液体的忽然侵入会对真空泵形成丢失损坏。因而，在处理室和泵之间需求一个液体接收器来吸收进入泵，避免损坏真空泵。
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