开云app手机版下载:HMPS-9750S型MPCVD设备：引领先进金刚石资料制备的技能优势

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  HMPS-9750S 是一款高性能微波等离子体化学气相堆积体系（MPCVD设备），集多项先进的技能与自主立异于一体，在多个要害维度上展现出明显的产品的长处，十分适合于HMPS-9750S型MPCVD体系由成都沃特塞恩电子技能有限公司自主研制，具有完好的自主知识产权，保证了技能自主可控与继续迭代才能。其选用新一代大容积下形式大型环形反响腔，经精细规划与仿真优化，可承载超大功率微波输入，为完成大面积金刚石均匀堆积奠定了坚实基础。

  二、杰出的等离子体性能与堆积作用HMPS-9750S型MPCVD体系支撑TM02双模放电形式，放电区域直径可达240mm以上，均匀堆积区直径不小于200mm，为大尺度纳米晶及超细纳米晶金刚石、光学级CVD金刚石窗口、高热导率单晶金刚石热沉片的高质量制备供给了要害工艺条件。共同的腔体规划使等离子体远离石英窗口，结合风冷散热，有用维护石英窗免受污染与热损害，提升了体系的安稳性和惯例运用的寿数。三、高功率高安稳性的微波体系HMPS-9750SMPCVD体系设备装备高功率、高安稳性的固态或开关型微波功率源，频率915MHz，最大输出功率达75kW，并可在10%-100%规模内接连可调，功率安稳度优于±1%。合作手动三销钉调配器与短路活塞，完成了对微波能量的准确调控，保证工艺进程的高度重复性与牢靠性。四、精细可控的工艺环境HMPS-9750S型MPCVD体系设备的真空体系选用双级旋片泵、分子泵与罗茨泵组合，可完成极低的极限线 Torr规模内可准确操控，安稳性达±0.1Torr，为不同金刚石成长阶段供给了洁净、安稳的真空环境。进口高精度质量流量操控器与牢靠的压力操控办理体系进一步保证了工艺气体配比与压力的准确性与安稳性。五、智能操控与安全保证体系集成PLC与智能软件操控办理体系，支撑手动与主动操作形式，便于工艺开发与批量出产。装备多重安全联锁机制与权限分级办理功用，全面保证设备与操作人员安全，满意工业化出产对牢靠性与安全性的高标准要求。六、高效的冷却与样品处理才能样品台选用大面积无氧铜水冷规划（直径≥600mm），可选配钼基台（直径≥200mm），合作去离子水冷却体系，保证在高功率长期运转进程中基片温度的均匀与安稳。双色/单色测温体系掩盖300℃至1475℃规模，满意金刚石成长对温度监控的准确需求。综上所述，沃特塞恩HMPS-9750S MPCVD设备凭仗其自主立异的规划、强壮的工艺才能、精细的操控办理体系以及全面的安全保证，在先进金刚石资料研制与产业化范畴展现出强壮的技能优势与使用潜力，是制备大尺度、高性能CVD金刚石制品的抱负渠道。